基于PZT的法珀滤光器平板平行度控制系统的设计与实现

基于PZT的法珀滤光器平板平行度控制系统的设计与实现

郑艳芳;许骏;李雪宝

Control System of Plates Parallelism for FabryPerot Filter Based on PZT

ZHENG Yanfang;XU Jun;LI Xuebao

计算机与现代化 . 2010, (12): 171 -173 .